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真空泵

配備冷凝泵或分子泵和無油機(jī)械泵

真空閥門

氣動控制高真空插板閥

蒸發(fā)源

多坩堝電子束蒸發(fā)源

樣品室

蒸發(fā)腔體為304不銹鋼，并有觀察窗

樣品臺

頂部安裝旋轉(zhuǎn)的樣品臺或側(cè)面安裝的轉(zhuǎn)角樣品臺

膜厚檢測

晶振膜厚監(jiān)控

真空測量

寬量程真空計(jì)用于測量真空和粗抽計(jì)

裝樣能力

一個最大8英寸的平板基片或多個小基片

蒸發(fā)速率分辨率

0.05 Angstroms/sec

膜厚分辨率

0.02 Angstroms